Micro dome shape structures made of thin film metallic glass

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Micro dome shape structures made of thin film metallic glass

著者

和文:	秦誠一, Takashi Yamanaka, 櫻井淳平, 下河邉明.
英文:	Seiichi Hata, Takashi Yamanaka, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Micro System Technology 2003 (MST '03)

巻, 号, ページ

pp. 180-187

出版年月

2003年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Micro System Technology 2003 (MST '03)

開催地

和文:
英文:	Munich, Germany