Alkaline-developable, chemically amplified, negative-type photosensitive polyimide based on polyhydroxyimide, a crosslinker, and a photoacid generator

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Alkaline-developable, chemically amplified, negative-type photosensitive polyimide based on polyhydroxyimide, a crosslinker, and a photoacid generator

著者

和文:	齋藤悠太, 溝口勝久, 東原知哉, 上田充.
英文:	Y. Saito, K. Mizoguchi, T. Higashihara, M. Ueda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Appl. Polym. Sci.

巻, 号, ページ

Vol. 113 pp. 3605-3611

出版年月

2009年7月

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI