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論文・著書情報


タイトル
和文:SiO2細線埋込InP系HBTにおけるCBr4を使ったin-situエッチング 
英文: 
著者
和文: 武部直明, 山下浩明, 高橋新之助, 宮本恭幸, 古屋一仁.  
英文: Naoaki Takebe, Hiroaki Yamashita, Shinnosuke Takahashi, YASUYUKI MIYAMOTO, KAZUHITO FURUYA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2009年9月 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第70回応用物理学会学術講演会 
英文: 
開催地
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