Parametric study for selective growth of single-walled carbon nanotube in plasma enhanced chemical vapor deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Parametric study for selective growth of single-walled carbon nanotube in plasma enhanced chemical vapor deposition

著者

和文:	野崎智洋, 唐津拓也, 吉田晋平, 岡崎健.
英文:	Tomohiro Nozaki, Takuya Karatsu, Shinpei Yoshida, Ken Okazaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 50 pp. 01AF03(5pp)

出版年月

2011年2月10日

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: