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論文・著書情報
タイトル
和文:
Al2O3ゲート絶縁膜および再成長ソースを有するサブミクロンInP/InGaAs n-MOSFET
英文:
Submicron InP/InGaAs channel n-MOSFET with regrown InGaAs and Al2O3 gate dielectric
著者
和文:
寺尾良輔
,
金澤徹
,
池田俊介
,
米内義晴
,
加藤淳
,
宮本恭幸
.
英文:
Ryousuke Terao
,
Toru Kanazawa
,
Shunsuke Ikeda
,
Yosiharu Yonai
,
atsushi kato
,
YASUYUKI MIYAMOTO
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
出版年月
2010年9月
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
第71回応用物理学会学術講演会
英文:
開催地
和文:
長崎
英文:
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