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論文・著書情報


タイトル
和文:RF可変受動素子実現に向けたAll Metal MEMS静電アクチュエータ 
英文:All Metal MEMS Electrostatic Actuator for RF Variable Passive Element 
著者
和文: 白根 篤史, 水落 裕, 天川 修平, 石原 昇, 益 一哉.  
英文: Atsushi Shirane, Yutaka Mizuochi, Shuhei Amakawa, Noboru Ishihara, Kazuya Masu.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:応用物理学会集積化 MEMS 技術研究会主催 集積化 MEMS シン ポジウ ム 2010 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 1-4
出版年月 2010年10月 
出版者
和文:応用物理学会 
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会議名称
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開催地
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