高繰返しエキシマレーザのスペクトル特性に及ぼす放電誘起密度擾乱の影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	高繰返しエキシマレーザのスペクトル特性に及ぼす放電誘起密度擾乱の影響
英文:	Effects of discharge-induced disturbance on spectral characteristics of highly repetitive excimer laser

著者

和文:	斎藤隆志, 堀岡一彦.
英文:	unknown unknown, KAZUHIKO HORIOKA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会論文誌 A
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 130 no. 6 pp. 555-560

出版年月

2010年6月

出版者

和文:
英文:	The Institute of Electrical Engineers of Japan

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: