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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
Selection of rare earth silicates for highly scaled gate dielectrics
著者
和文:
角嶋邦之
,
岡本晃一
,
小柳友常
,
幸田みゆき
,
舘喜一
,
川那子高暢
,
宋在烈
,
パールハットアヘメト
,
筒井一生
,
杉井信之
,
服部健雄
,
岩井洋
.
英文:
Kuniyuki KAKUSHIMA
,
Koichi Okamoto
,
Tomotsune Koyanagi
,
Miyuki Kouda
,
Kiichi Tachi
,
Takamasa Kawanago
,
Jaeyeol Song
,
Ahmet Parhat
,
KAZUO TSUTSUI
,
Nobuyuki Sugii
,
takeo hattori
,
HIROSHI IWAI
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
Microelectronic Engineering
巻, 号, ページ
Vol. 87 No. 10 pp. 1868-1871
出版年月
2010年10月
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
開催地
和文:
英文:
DOI
https://doi.org/10.1016/j.mee.2009.11.001
©2007
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