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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Selection of rare earth silicates for highly scaled gate dielectrics 
著者
和文: 角嶋邦之, 岡本晃一, 小柳友常, 幸田みゆき, 舘喜一, 川那子高暢, 宋在烈, パールハットアヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井洋.  
英文: Kuniyuki KAKUSHIMA, Koichi Okamoto, Tomotsune Koyanagi, Miyuki Kouda, Kiichi Tachi, Takamasa Kawanago, Jaeyeol Song, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, takeo hattori, HIROSHI IWAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Microelectronic Engineering 
巻, 号, ページ Vol. 87    No. 10    pp. 1868-1871
出版年月 2010年10月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 
DOI https://doi.org/10.1016/j.mee.2009.11.001

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