MEMS技術によるECFマイクロレートジャイロの特性評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	MEMS技術によるECFマイクロレートジャイロの特性評価
英文:

著者

和文:	鈴木俊也, 横田眞一, 金俊完, 今村恒彦, 枝村一弥.
英文:	Toshiya Suzuki, SHINICHI YOKOTA, Joon-wan KIM, Tsunehiko Imamura, Kazuya Edamura.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会2010講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

CD-rom, 1P1-B04

出版年月

2010年6月

出版者

和文:	日本機械学会
英文:

会議名称

和文:	日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会2010
英文:

開催地

和文:	旭川市
英文: