Development of Xenon Gas-Jet Z-Pinch Discharge and Laser Triggered Tin Discharge Light Sources for EUV Lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of Xenon Gas-Jet Z-Pinch Discharge and Laser Triggered Tin Discharge Light Sources for EUV Lithography

著者

和文:	作地修, Jiang Fei, 山田淳三郎, ｽﾞｷｭｼ, 渡邊正人, 河村徹, 沖野晃俊, 堀岡一彦, 堀田栄喜.
英文:	Osamu Sakuchi, Fei Jiang, Junzaburo Yamada, Qiushi Zhu, Masato Watanabe, Tohru Kawamura, Akitoshi Okino, Kazuhiko Horioka, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	ICPP2008 Abstracts

巻, 号, ページ

FG-P3-079 p. 349

出版年月

2008年9月

出版者

和文:
英文:	JSPF

会議名称

和文:
英文:	14th International Congress on Plasma Physics

開催地

和文:
英文:	Fukuoka