Open-loop Characteristics of a Multilayer Electrostatic Actuator for a Fine Motion Stage

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Open-loop Characteristics of a Multilayer Electrostatic Actuator for a Fine Motion Stage

著者

和文:	Mariam Md Ghazaly, 佐藤海二.
英文:	Mariam Md Ghazaly, Kaiji Sato.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the 4th International Conference on Mechatronics Technology

巻, 号, ページ

出版年月

2010年11月

出版者

和文:
英文:	ICMT2010 Organizing Committee

会議名称

和文:
英文:	14th International Conference on Mechatronics Technology

開催地

和文:
英文:	Osaka, Japan