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論文・著書情報


タイトル
和文:VHFプラズマパワーの変化によるシリコンナノ結晶の縮小化 
英文: 
著者
和文: 中峯嘉文, 小寺哲夫, 内田 建, 小田俊理.  
英文: Yoshifumi Nakamine, Tetsuo Kodera, Ken Uchida, SHUNRI ODA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         17a-TG-10
出版年月 2010年3月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第57回応用物理学関係連合講演会 
英文: 
開催地
和文:平塚市 
英文: 

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