Experimental and numerical analyses on recovery of polymer deformation after demolding in the hot embossing process

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Experimental and numerical analyses on recovery of polymer deformation after demolding in the hot embossing process

著者

和文:	H. Takagi, M. Takahashi, R. Maeda, 大西有希, Y. Iriye, T. Iwasaki, Y. Hirai.
英文:	H. Takagi, M. Takahashi, R. Maeda, Y. Onishi, Y. Iriye, T. Iwasaki, Y. Hirai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Vacuum Science and Technology B

巻, 号, ページ

Vol. 26 No. 6 pp. 2399-2403

出版年月

2008年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
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