Analysis of time dependent polymer deformation based on a viscoelastic model in thermal imprint process

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Analysis of time dependent polymer deformation based on a viscoelastic model in thermal imprint process

著者

和文:	H. Takagi, M.Takahashi, R.Maeda, 大西有希, Y.Iriye, T.Iwasaki, Y.Hirai.
英文:	H. Takagi, M.Takahashi, R.Maeda, Y.Onishi, Y.Iriye, T.Iwasaki, Y.Hirai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Microelectronic Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 85 No. 5 pp. 902-906

出版年月

2008年5月28日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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