Time Dependent Analysis of the Resist Deformation in Thermal Nanoimprint

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Time Dependent Analysis of the Resist Deformation in Thermal Nanoimprint

著者

和文:	Y.Hirai, 大西有希, T.Tanabe, M.Nishihata, T.Iwasaki, Y.Iriye.
英文:	Y.Hirai, Y.Onishi, T.Tanabe, M.Nishihata, T.Iwasaki, Y.Iriye.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Vacuum Science and Technology B

巻, 号, ページ

Vol. 25 No. 6 pp. 2341–2345

出版年月

2007年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

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