Time DependentAnalysis of the Resist Deformation in Thermal Nanoimprint

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Time DependentAnalysis of the Resist Deformation in Thermal Nanoimprint

著者

和文:	Y.Hirai, 大西有希, T.Tanabe, M.Nishihata, T.Iwasaki, Y.Iriye.
英文:	Y.Hirai, Y.Onishi, T.Tanabe, M.Nishihata, T.Iwasaki, Y.Iriye.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2007年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	51st International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN)

開催地

和文:
英文: