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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Time Evolution of ResistDeformation in Thermal Nanoimprint Lithography 
著者
和文: Y.Hirai, 大西 有希, T.Tanabe, M.Shibata, T.Iwasaki, Y.Iriye.  
英文: Y.Hirai, Y.Onishi, T.Tanabe, M.Shibata, T.Iwasaki, Y.Iriye.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2006年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:6th Nanoprint and Nanoimprint Technology (NNT) 
開催地
和文: 
英文: 

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