Driving mechanism, design, fabrication process and experiments of a cylindrical ultrasonic linear microactuator

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Driving mechanism, design, fabrication process and experiments of a cylindrical ultrasonic linear microactuator

著者

和文:	汪盛, SUN DONGMING, 櫻井淳平, 崔起鳳, 秦誠一, 下河邉明.
英文:	Sheng Wang, Dongming Sun, Junpei Sakurai, Kee-Bong Choi, Seiichi Hata, Akira Shimokohbe.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE Trans. Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control

巻, 号, ページ

Vol. 58 No. 1 pp. 168-177

出版年月

2011年1月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI