A high power ultrasonic linear motor with a longitudinal-bending hybrid transducer for high-speed and precise drive of a heavy stage

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A high power ultrasonic linear motor with a longitudinal-bending hybrid transducer for high-speed and precise drive of a heavy stage

著者

和文:	Cheol-Ho Yun, 石井孝明, 中村健太郎, 上羽貞行, Koji Akashi.
英文:	Cheol-Ho Yun, Takaaki Ishii, Kentaro Nakamura, Sadayuki Ueha, Koji Akashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of 2001 IEEE International Ultrasonics Symposium, a Joint Meeting with the World Congress on Ultrasonics

巻, 号, ページ

3H-1 pp. 537-540

出版年月

2001年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2001 IEEE International Ultrasonics Symposium, a Joint Meeting with the World Congress on Ultrasonics

開催地

和文:
英文:	Atlanta