Ultra Precise Positioning of a Stage Driven by Pneumatic Bellows

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Ultra Precise Positioning of a Stage Driven by Pneumatic Bellows

著者

和文:	Toshinori Fujita, 榊和敏, Yusuke Takagi, 川嶋健嗣, 香川利春.
英文:	Toshinori Fujita, Kazutoshi Sakaki, Yusuke Takagi, Kenji Kawashima, Toshiharu Kagawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Int. J. of Automation Technology

巻, 号, ページ

Vol. 5 No. 4 pp. 580-511

出版年月

2011年7月25日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI