Crystal growth on novel Cu electroplating using suspension of supercritical CO2 in electrolyte with Cu particles (Invited Lecture)

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Crystal growth on novel Cu electroplating using suspension of supercritical CO2 in electrolyte with Cu particles (Invited Lecture)

著者

和文:	曽根正人, 清水哲也, 篠田奈緒, TSO-FU MARK CHANG, 柴田曉伸.
英文:	Masato Sone, Tetsuya Shimizu, Nao Shinoda, Tso-Fu Mark Chang, Akinobu Shibata.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	TACT2011,International Thin Film Conference

巻, 号, ページ

p. 21

出版年月

2011年11月20日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	TACT2011,International Thin Film Conference

開催地

和文:
英文:	Kenting, Pingtung