Structure and Mechanical Properties of Diamond-Like Carbon Films Prepared from C2H2 and H2 Mixtures by Pulse Plasma Chemical Vapor Deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Structure and Mechanical Properties of Diamond-Like Carbon Films Prepared from C2H2 and H2 Mixtures by Pulse Plasma Chemical Vapor Deposition

著者

和文:	Shinji FUJIMOTO, 赤坂大樹, Tsuneo SUZUKI, 大竹尚登, 高井治.
英文:	Shinji FUJIMOTO, Hiroki AKASAKA, Tsuneo SUZUKI, Naoto OHTAKE, Osamu TAKAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 49 pp. 075501-1～075501-9

出版年月

2010年9月6日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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