Hydrophilization and Oxide Removal using Damage-Free Multi-Gas Plasma Jet,

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Hydrophilization and Oxide Removal using Damage-Free Multi-Gas Plasma Jet,

著者

和文:	柴田萌, 平位英之, 高松利寛, 佐々木亮太, 宮原秀一, 沖野晃俊.
英文:	Moe Shibata, Hideyuki Hirai, Toshihiro Takamatsu, Ryota Sasaki, Hidekazu Miyahara, Akitoshi Okino.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

D13-271

出版年月

2011年8月29日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	International Conference on Phenomena in Ionized Gases, 2011

開催地

和文:
英文:	Belfast