Cu electroplating reaction using suspension of supercritical carbon dioxide in electroplating solution with Cu particles

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Cu electroplating reaction using suspension of supercritical carbon dioxide in electroplating solution with Cu particles

著者

和文:	篠田奈緒, 清水哲也, TSO-FU MARK CHANG, 柴田曉伸, 曽根正人.
英文:	Nao Shinoda, Tetuya Shimizu, Tso-Fu Mark Chang, Akinobu Shibata, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Taiwan Supercritical Fluid Association (TSCFA)

巻, 号, ページ

p. 20

出版年月

2011年10月3日

出版者

和文:
英文:	Taiwan Supercritical Fluid Association (TSCFA)

会議名称

和文:
英文:	Taiwan Supercritical Fluid Association (TSCFA)

開催地

和文:	Tayui, Taiwan
英文: