Characteristics and Optical Emission Spectroscopy Analysis of DLC Films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characteristics and Optical Emission Spectroscopy Analysis of DLC Films

著者

和文:	高島舞, 大竹尚登.
英文:	Mai Takashima, Naoto Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 15th International Conference on Thin Films

巻, 号, ページ

CD-ROM

出版年月

2011年11月11日

出版者

和文:
英文:	The Vacuum Society of Japan

会議名称

和文:
英文:	The 15th International Conference on Thin Films

開催地

和文:
英文:	Kyoto