Nano-sized PT Lines and Spaces Patterned by Nanoimprint Lithography and physical Dry-etching Method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Nano-sized PT Lines and Spaces Patterned by Nanoimprint Lithography and physical Dry-etching Method

著者

和文:	Bui Nguyen Quoc Trinh, 金田敏彦, 宮迫毅明, Pham Van Thanh, Phan Trong Tue, 徳光永輔, 下田達也.
英文:	Bui Nguyen Quoc Trinh, Toshihiko Kaneda, Takaaki Miyasako, Pham Van Thanh, Phan Trong Tue, Eisuke Tokumitsu, Tatsuya Shimoda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2011年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 10th international conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology (NNT 2011)

開催地

和文:
英文:	Jeju