Low Temperature Processes for Oxide Thin Films using Novel Ceramic Atomic-Oxygen Source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Low Temperature Processes for Oxide Thin Films using Novel Ceramic Atomic-Oxygen Source

著者

和文:	尾島大樹, 嶋一成, 平松秀典, 細野秀雄, 林克郎.
英文:	Daiki Ojima, Kazunari Shima, Hidenori Hiramatsu, Hideo Hosono, Katsuro Hayashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2011年11月8日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	15th International Conference on Thin Films, 2011

開催地

和文:
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