Pinch dynamics of the 13.5 nm EUV-emitting plasma in a LA-DPP source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Pinch dynamics of the 13.5 nm EUV-emitting plasma in a LA-DPP source

著者

和文:	ｽﾞｷｭｼ, 山田淳三郎, 岸望, 細貝知直, 渡邊正人, 沖野晃俊, 堀岡一彦, 堀田栄喜.
英文:	Qiushi Zhu, Junzaburo Yamada, Nozomu Kishi, Tomonao Hosokai, Masato watanabe, Akitoshi Okino, Kazuhiko Horioka, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	2011 International Academic Symposium on Optoeletcronics and Microelectronics Technology (IASOMT 2011)

巻, 号, ページ

pp. 175-178

出版年月

2011年11月13日

出版者

和文:
英文:	IEEE

会議名称

和文:
英文:	2011 International Academic Symposium on Optoeletcronics and Microelectronics Technology (IASOMT 2011)

開催地

和文:
英文:	Harbin

DOI