Estimation of electron temperature and density of the decay plasma in a laser-assisted discharge plasma extreme ultraviolet source by using a modified Stark broadening method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Estimation of electron temperature and density of the decay plasma in a laser-assisted discharge plasma extreme ultraviolet source by using a modified Stark broadening method

著者

和文:	ｽﾞｷｭｼ, 武藤敬宏, 山田淳三郎, 岸望, 渡邊正人, 沖野晃俊, 堀岡一彦, 堀田栄喜.
英文:	Qiushi Zhu, Takahiro Muto, Junzaburo Yamada, Nozomu Kishi, Masato Watanabe, Akitoshi Okino, Kazuhiko Horioka, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 110

出版年月

2011年12月30日

出版者

和文:
英文:	American Insitute of Phyics

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

ファイル

DOI