Solid-state source of atomic oxygen for low-temperature oxidation processes: Application to pulsed laser deposition of TiO<sub>2</sub>:N films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Solid-state source of atomic oxygen for low-temperature oxidation processes: Application to pulsed laser deposition of TiO₂:N films

著者

和文:	尾島大樹, 千葉哲也, 嶋一成, 平松秀典, 細野秀雄, 林克郎.
英文:	Daiki Ojima, Tetsuya Chiba, Kazunari Shima, Hidenori Hiramatsu, Hideo Hosono, Katsuro Hayashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Review of Scientific Instruments

巻, 号, ページ

83 023903

出版年月

2012年2月13日

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

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英文: