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論文・著書情報


タイトル
和文:MEMS技術を用いたECF三角柱－スリット形電極対の性能評価 
英文: 
著者
和文: 金 俊完, 王 海波, 横田 眞一, 枝村 一弥.  
英文: Joon-wan KIM, HAIBO WANG, SHINICHI YOKOTA, Kazuya Edamura.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第12回機素潤滑設計部門講演会 講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 12-14    pp. 153-154
出版年月 2012年4月22日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第12回機素潤滑設計部門講演会 
英文: 
開催地
和文:愛媛県 
英文: 

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