Deposition of Cubic Boron Nitride in a Supersonic Plasma Jet Reactor with Secondary Discharge

論文・著書情報

タイトル

和文:	Deposition of Cubic Boron Nitride in a Supersonic Plasma Jet Reactor with Secondary Discharge
英文:	Deposition of Cubic Boron Nitride in a Supersonic Plasma Jet Reactor with Secondary Discharge

著者

和文:	Jami McLaren, Hiroki Akasaka, Joachim Heberlein.
英文:	Jami McLaren, Hiroki Akasaka, Joachim Heberlein.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Plasma Processes and Polymers
英文:	Plasma Processes and Polymers

巻, 号, ページ

Vol. 4 pp. 166-170

出版年月

2007年

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI