Rapid Fabrication of an ordered nano-dot array by combination of nano plastic forming and annealing method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Rapid Fabrication of an ordered nano-dot array by combination of nano plastic forming and annealing method

著者

和文:	吉野雅彦, Hiroki Ohsawa, 山中晃徳.
英文:	Masahiko Yoshino, Hiroki Ohsawa, Akinori Yamanaka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Micromech. Microeng

巻, 号, ページ

Vol. 21 125017

出版年月

2011年8月21日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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英文: