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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Development of nanostructured foil mold for roller nano imprint process 
著者
和文: 吉野 雅彦, 小林 真佐男, 山中 晃徳.  
英文: Masahiko YOSHINO, Masao KOBAYASHI, Akinori YAMANAKA.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Proceedings of LEM21 
巻, 号, ページ         pp. 3250
出版年月 2011年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:LEM21 
開催地
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英文: 

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