Application of Electrodeposition using Supercritical Carbon Dioxide Emulsion into Integrated Circuit Technology (Invited Lecture)

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Application of Electrodeposition using Supercritical Carbon Dioxide Emulsion into Integrated Circuit Technology (Invited Lecture)

著者

和文:	曽根正人, 清水哲也, 篠田奈緒, TSO-FU MARK CHANG.
英文:	Masato Sone, Tetsuya Shimizu, Nao Shinoda, Tso-Fu Mark Chang.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	TSCFA2012

巻, 号, ページ

pp. in press

出版年月

2012年10月12日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	Taipei Univ. of Sci.&Technology