Combinatorial masked deposition: Simple method to control deposition flux and its spatial distribution

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Combinatorial masked deposition: Simple method to control deposition flux and its spatial distribution

著者

和文:	S. Noda, 梶川裕矢, H. Komiyama.
英文:	S. Noda, Y. Kajikawa, H. Komiyama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Surface Science

巻, 号, ページ

Vol. 225 Issue 1～4 pp. 372-379

出版年月

2003年12月2日

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: