A Novel Sensor Structure and its Fabrication Process for Integrated CMOS-MEMS Accelerometer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Novel Sensor Structure and its Fabrication Process for Integrated CMOS-MEMS Accelerometer

著者

和文:	山根大輔, 松島隆明, 小西敏文, 本橋剛, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉.
英文:	Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Gou Motohashi, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2012年9月27日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2012 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2012)

開催地

和文:	京都
英文:	Kyoto

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