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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Hydrogen content and mechanical characteristics of DLC films 
著者
和文: 高島 舞, 大竹 尚登.  
英文: Mai Takashima, Naoto Ohtake.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:IUMRS-ICEM2012 
巻, 号, ページ CD-ROM       
出版年月 2012年9月25日 
出版者
和文: 
英文:IUMRS-ICEM2012 
会議名称
和文: 
英文:IUMRS-International Conference on Electronic Materials2012 
開催地
和文: 
英文:Yokohama 

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