Detection of Bulk Defects of DLC Films Deposited by Pulse Plasma CVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Detection of Bulk Defects of DLC Films Deposited by Pulse Plasma CVD

著者

和文:	櫻田悠一, 高島舞, 安原鋭幸, 岩本喜直, 松尾誠, 大竹尚登.
英文:	Yuichi Sakurada, Mai Takashima, Toshiyuki Yasuhara, Yoshinao Iwamoto, Makoto Matsuo, Naoto Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IUMRS-ICEM2012

巻, 号, ページ

CD-ROM

出版年月

2012年9月25日

出版者

和文:
英文:	IUMRS-International Conference on Electronic Materials2012

会議名称

和文:
英文:	IUMRS-International Conference on Electronic Materials2012

開催地

和文:
英文:	Yokohama