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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Effect of radical fluorination on mono- and bi-layer graphene in Ar/F2 plasma 
著者
和文: 田原康佐, 岩崎孝之, 波多野睦子.  
英文: Kosuke Tahara, Takayuki Iwasaki, Mutsuko Hatano.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Appl. Phys. Lett 
巻, 号, ページ 101    16    163105
出版年月 2012年10月15日 
出版者
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会議名称
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開催地
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DOI https://doi.org/10.1063/1.4760268

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