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論文・著書情報


タイトル
和文:ハードウェア記述言語を用いた集積化CMOS-MEMS統合設計技術 
英文: 
著者
和文: 小西敏文, 丸山智史, 三田信, 山根大輔, 伊藤浩之, 町田克之, 石原 昇, 益一哉, 藤田博之, 年吉 洋.  
英文: Toshifumi Konishi, Tomofumi Maruyama, Makoto Mita, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Hiroyuki Fujita, Hiroshi Toshiyoshi.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2012年10月23日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第4回集積化MEMSシンポジウム 
英文: 
開催地
和文:北九州市 
英文: 
公式リンク http://www.sensorsymposium.org/29/outline_j.html
 
受賞情報 優秀論文賞

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