Evaluation of a Capacitive Sensor with a Gold Proof Mass Toward Integrated CMOS-MEMS Accelerometers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Evaluation of a Capacitive Sensor with a Gold Proof Mass Toward Integrated CMOS-MEMS Accelerometers

著者

和文:	山根大輔, 松島隆明, 小西敏文, 本橋剛, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉.
英文:	Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Gou Motohashi, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2012年10月30日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	25th Int. Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2012)

開催地

和文:
英文:	Kobe

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