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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
Fabrication of Bio-MEMS Device for on-
著者
和文:
辛 永式
,
勝部 恭平
,
澤田 和明
,
石田 誠
,
石井 仁
,
町田 克之
,
益一哉
,
飯田健一郎
,
齋藤光正
,
吉田眞一
.
英文:
Youngshik Shin
,
Kyohei Katsube
,
Kazuaki Sawada
,
Makoto Ishida
,
Hiromu Ishii
,
Katsuyuki Machida
,
Kazuya Masu
,
Kenichiro Iida
,
Mitsumasa Saito
,
Shinichi Yoshida
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
出版年月
2012年4月9日
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
Heterogeneous Integration Challenges of MEMS, Sensor and CMOS LSI Symp.B, 2012 MRS Spring Meeting, JSAP-MRS
開催地
和文:
英文:
San Francisco
公式リンク
http://www.mrs.org/spring-meetings/
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Institute of Science Tokyo All rights reserved.