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論文・著書情報


タイトル
和文:異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用?MEMS, NEMS, センサ, CMOSLSIの融合? 
英文:Integration Technology for Heterogeneous Advanced Devices: Basics and Applications 
著者
和文: 益一哉, 町田克之, 年吉洋, 江刺 正喜, 藤田博之, 石田誠, 田中 秀治, 高橋 一浩, 越田信義, 小山 英樹, 佐々木 実, 秦誠一, 橋口 原, 高尾 英邦, 永瀬 雅夫, 山口 浩司, 北澤 正志, 前中 一介, 澤田和明, 柴崎 一郎, 野村聡, 竹内 幸裕, 柴田 英毅, 楢崎 祥一, 鈴木 雄二, 西岡 泰城, 森村 浩季, 日暮 栄治, 千野 満, 内山 直己, 足立 秀喜, 井上 晴伸, 橋本 秀樹.  
英文: Kazuya Masu, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Masayoshi Esashi, Hiroyuki Fujita, Makoto Ishida, Shuji Tanaka, Kazuhiro Takahashi, Nobuyoshi Koshida, Hideki Koyama, Minoru Sasaki, SEIICHI HATA, Gen Hashiguchi, Hidekuni Takao, Masao Nagase, Hiroshi Yamaguchi, Masashi Kitazawa, Kazusuke Maenaka, Kazuaki Sawada, Ichiro Shibasaki, Satoshi Nomura, Yukihiro Takeuchi, Hideki Shibata, Narahashi Shoichi, Yuji Suzuki, Yasuhiro Nishioka, Hiroki Morimura, Eiji Higurashi, Mitsuru Chino, Naoki Uchiyama, Hideki Adachi, Harunobu Inoue, Hideki Hashimoto.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用?MEMS, NEMS, センサ, CMOSLSIの融合? 
英文:Integration Technology for Heterogeneous Advanced Devices: Basics and Applications 
巻, 号, ページ        
出版年月 2012年11月1日 
出版者
和文:株式会社 シーエムシー出版 
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会議名称
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開催地
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