Estimation of Electron Temperature and Density of the Decay Plasma in a Laser-assisted Discharge Plasma Extreme Ultraviolet Source by using a Modified Stark Broadening Method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Estimation of Electron Temperature and Density of the Decay Plasma in a Laser-assisted Discharge Plasma Extreme Ultraviolet Source by using a Modified Stark Broadening Method

著者

和文:	武藤敬宏, ｽﾞｷｭｼ, 山田淳三郎, 岸望, 渡邊正人, 堀田栄喜.
英文:	T. Muto, Q. Zhu, J. Yamada, N. Kishi, M. Watanabe, E. Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2012年10月30日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2012)

開催地

和文:
英文:	Kobe