Detecting Method of Bulk Defects in DLC Films Using Light Scattering

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Detecting Method of Bulk Defects in DLC Films Using Light Scattering

著者

和文:	櫻田悠一, 高島舞, 安原鋭幸, 岩本喜直, Makoto Matsuo, 大竹尚登.
英文:	Yuichi Sakurada, Mai Takashima, Toshiyuki Yasuhara, Yoshinao Iwamoto, Makoto Matsuo, Naoto Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Emerging Technology in Precision Engineering

巻, 号, ページ

pp. 793-798

出版年月

2012年11月8日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	14th International Conference on Precision Engineering(ICPE2012)

開催地

和文:
英文:	Hyogo

DOI