ECF Micropump by the 3D Integration of MEMS-fabricated Triangular Prism and Slit (TPS) Electrode Pairs

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	ECF Micropump by the 3D Integration of MEMS-fabricated Triangular Prism and Slit (TPS) Electrode Pairs

著者

和文:	山田嘉穂, 金俊完, 横田眞一, 枝村一弥.
英文:	Yoshiho Yamada, Joon-wan Kim, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	16th International Conference on Mechatronics Technology PROCEEDINGS

巻, 号, ページ

pp. 10-14

出版年月

2012年10月16日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	16th International Conference on Mechatronics Technology

開催地

和文:	天津
英文:	Tianjin

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