Mechanical Properties of Nickel Fabricated by Electroplating with Supercritical CO2 Emulsion Evaluated by Micro-Compression Test Using Non-Tapered Micro-sized Pillar

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Mechanical Properties of Nickel Fabricated by Electroplating with Supercritical CO2 Emulsion Evaluated by Micro-Compression Test Using Non-Tapered Micro-sized Pillar

著者

和文:	名越貴志, TSO-FU MARK CHANG, 里達雄, 曽根正人.
英文:	Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Tatsuo Sato, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Microelectronic Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 110C pp. 269-272

出版年月

2013年6月23日

出版者

和文:
英文:	Elsevier

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: