Effects of Chemical Components on the Bending Properties of Micro-sized Cantilevers in three types of SU-8

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of Chemical Components on the Bending Properties of Micro-sized Cantilevers in three types of SU-8

著者

和文:	松崎純平, 石山千恵美, 曽根正人, 肥後矢吉.
英文:	Junpei Matsuzaki, Chiemi Ishiyama, Masato Sone, Yakichi Higo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Microelectronic Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 110C pp. 108-111

出版年月

2013年6月23日

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI