Fabrication of Electrically Active Si-based Thin Films by Pulsed Laser Deposition of SiO/C Dual Targets

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of Electrically Active Si-based Thin Films by Pulsed Laser Deposition of SiO/C Dual Targets

著者

和文:	小野裕三郎, 加藤侑志, 秋田泰志, 保坂誠, 白石尚輝, Makoto Yamaguchi, 坂田修身.
英文:	Yusaburo Ono, Yushi Kato, Yasuyuki Akita, Makoto Hosaka, Naoki Shiraishi, Makoto Yamaguchi, Osami Sakata.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Mater. Res. Soc. Symp. Proc.

巻, 号, ページ

Vol. 1148

出版年月

2009年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI